LCD와 LCD 검사과정

*재*

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최초 등록일: 2008.06.02
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LCD의 공정 과정과 LCD의 검사과정에 대해 자세히 기술~발표용

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서론
우리가 실생활에 가장 많이 보급되어 있는 LCD는 TFT LCD이다. TFT LCD는 Thin Film Transistor Liquid Crystal Display의 약어로 휴대용 컴퓨터, 자동 항법 장치, 전자수첩, 이동통신 기기 등 최첨단 전자통신 기기에 화상 정보를 표시하는 액정표시 소자를 말한다

본 장치는 Robot Arm을 이용해 Cassette에서 Stage로 들어온 Si Wafer를 Line Scan Camera 를 이용한 Vision System으로 Si 표면의 Defect를 검사하고, 검사된 불량을 크기 별로 자동으로 분류하여 Display하기위한 검사장비이다.

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