기초진공의 이해와 각종펌프
- 최초 등록일
- 2007.10.12
- 최종 저작일
- 2007.05
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소개글
반도체 공정에 대한 기초 진공과 각 펌프에 관한 내용 입니다.
당연히 A+받은 것입니다.
특히 교수님게서 같이 프로젝트 하자고 했던 것이므로 질높은 자료가 잘정리 되어있습니다.
지금 까지 올린 두개의 자료 모두 교수님에게 인정 받은 것입니다.
그럼 도움이 되시길 바랍니다.
목차
진공이란?
기초 진공의 이해
펌프의 종류와 원리
진공의 역사와 현재 동향
본문내용
진공(眞空 )이란 무엇인가? ?
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진공이란 말은 라틴어“vacua”라는 말에서 유래된 것으로 “비어있다”는 의미 이다.
실제로 진공은 단지 부분적으로 비어있는 공간을 의미한다.
진공에서는 일정한 부피의 공기와 다른 기체들이 제거 되어진다.
이 부피공간을 보통 “작업 진공용기(work chamber) “ 라 부르고, 진공과 바깥의 공간은 분리된다.
진공의 더 실질적인 개념은 일정한 공간이 주위대기보다 적은 기체들을 함유한,대기보다 압력이 낮은 것을 말한다.
주위의 기체들은 용기의 표면에 어떠한 힘을 가하는데, 이 힘을 압력이라고 부른다. 압력은 chamber 의 압력과 바깥의 대기 압력을 비교 함으로서 측정할 수 있고, 이 방법으로 진공 안에 얼마나 많은 기체들이 남아 있는지 알 수 있다.
진공을 만들기 위해서는 알맞은 펌프를 선택하는 것은 매우 중요하다. 여러 펌프들이 이런 진공작업에 사용되는데 어떤 펌프는 chamber로부터 기체를 제거하고, 그 외의 다른 펌프들은 기체를 포착 하거나 그들의 형태를 바꾼다.
펌프의 동작범위는 각각 다르며 대부분의 경우 한 개의 펌프로는 우리가 원하는 진공 범위를 만들지 못한다.
그러므로 여러 개의 펌프를 적절히 조합하여 사용한다
펌프의 종류와 원리
앞에서 언급했듯이 하나의 펌프로부터 고 진공과 초고진공 범위까지 만드는 것은 기대할 수 없다. 특별한 압력에 도달하고 유지하기 위해서 둘 또는 그 이상의 펌프가 이용되어져야 한다.
고 압력에서 어떤 펌프는 동작하지 않고 심지어 시스템을 오염시킬 것이다.
만일 공정 압력과 시스템이 요구하는 압력이 둘 다 러프진공 범위에 있다면 하나의 러핑 펌프 만으로도 가능하다.
이제는 러핑 펌프의 종류와 간단한 원리에 대해서 말해보자.
펌프의 동작범위는 각각 다르며 대부분의 경우 한 개의 펌프로는 우리가 원하는 진공 범위를 만들지 못한다.
그러므로 여러 개의 펌프를 적절히 조합하여 사용한다.
참고 자료
없음