[공학]반도체소자공학의 모든것 총정리
- 최초 등록일
- 2007.04.22
- 최종 저작일
- 2007.04
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소개글
3학년 필수 과목인 반도체 소자공학에 대한 리폿입니다^^ 필요한 개념을 정리해서
A플러스 받은 작품입니다^^
목차
1. 고체내의 원자의 배열
2.반도체의 격자구조
3.확산에 대한 정의 및 설명
4.산화에 대한 정의 및 설명
5. 박막증착에 대한 정의 및 설명
6. PN접합 다이오드제조에 관한 설명
7. 리소그래피의 정의 및 설명
본문내용
1.고체내의 원자의 배열에 대해 설명하시오.
물질내 원자의 공간적 배열은 물질의 정확한 성질을 결정하는데 아주 중요한 역할을 한다. 고체내의 원자배열은 크게 3가지로 구분된다. 다시말해서 비정질. 다결정질, 결정질이다. 비정질 고체란 물지내 원자들의 위치가 개괄적으로 식별하기 어려운 배열을 가진 물질이다. 비정질의 물질내 원자배열의 어느부분을 보더라도 그 물질내 다른 부분과는 다르게 보인다. 결정질 고체는 배열에 있어서 정반대이다. 결정질 물질에서는 원자들이 3차원적으로 정돈되어 배열된다. 결정질의 어떤원자이든 다른 부분에서도 쉽게 찾아 볼수있다. 다결정질고체는 다른것들과 뒤틀려 있거나 어긋나있는 결정질의 부분들로 구성되어 있는 중간적 경우이다.
현존하는 많은 고체소자를 조사해보면 세가지 구조의 예를 쉽게 찾아볼 수 있다. 비정질실리콘박막트랜지스터는 LCD에서 스위칭소자로 사용되고, 다결정질실리콘게이트는 MOSFET에서 사용된다. 그러나 대부분의 소자에서 소자의 능동영역은 결정질반도체에 의해 만들어진다. 오늘날 만들어지는 소자의 절대 다수는 결정질 반도체를 이용한다.
2. 반도체의 격자구조에 대해 설명하시오.
실리콘(그리고 게르마늄)격자구조는 다이아몬드격자구조 단위셀로 표현된다. 다이아몬드격자구조 단위셀의 정렬은 Ⅳ족 원소인 탄소 형태의 다이아몬드를 대표하는 다이아몬드격자구조의 단위셀로서 알려져 있다. 다이아몬드격자구조의 단위셀은 살펴보면 그 셀이 각 꼭지점과 입방체의 각 면에 원자를 가진 면심입방단위셀과 비슷한 입방체라는 것을 알게 된다. 어쨌든 다이아몬드격자구조 단위셀의 내부는 4개의 부가족 원자들을 포함한다. 내부의 원자들 중 하나는 입방체에서 앞쪽 위의 왼쪽 꼭지점으로부터 뻗은 대각선상에 정확히 1/4길이만큼 떨어져 위치하고 있다. 나머지 3개의 내부에 위치한 원자들은 앞서 말한 대각선의 방향으로 대각선의 1/4만큼 떨어져 각각 위치한다. 다이아몬득격자구조 단위셀로부터 시각화하기는 어렵지만 단지 2개의 투명한 면심입방격자로서 표혈될 수 있다.완전히 단위셀 안에 속한 원자들이 두 번째 면심입방격자에 속하는 반면 단위셀의 꼭지점과 면의 원자들은 첫 번째 면심입방격자에 속하는 것으로 간주될수 있다. 두 번째 격자는 첫 번째 격자구조의 대각선방향을 따라 대각선의 1/4만큼 떨어져 위치하고 있다.
참고 자료
없음