sheet resistance

소개글

면저항 측정법과..종류에관해 자세히 조사하였습니다.

목차

1.실험제목
2.실험목적
3.실험기구, 장비, 재료
4.실험원리 :
5.실험방법 :
6.실험 결과 및 고찰

본문내용

▶4-Point probe
4-point probe는 탐침이 4개가 달린 표면저항측정용으로 사용하는 probe를 일컫는 말이다. 보통은 1mm간격이며 일렬(Linear type)로 탐침을 정렬시킨 것을 말한다. 이것은 이용반도체의 resistivity, 특히 그림과 같이 절연체 위에 형성된 금속박막의 저항율를 측정하는데 있어서 가장 널리 사용되는 방법으로 특별한 calibration 절차가 필요 없는 측정이 매우 간단하고 정확한 방법이다.

4-point probe의 가장 큰 특징은 그림과 같이 4 개의 probe tip이 약 1mm정도의 일정한 간격으로 떨어져서 일렬로 정렬되어 있다는 것이다. 물론 다른 형태도 가능하지만 대부분이 일렬로 그림과 같이 정렬되어 있다. 4-point probe의 기본적인 개념은 Probe 단자 1과 4에 일정한 전류를 흘려주고 Probe 단자 2와 3사이의 전압을 측정하여 전압과 전류사이의 비율을 이용하여 비저항을 계산하는 것이다.
따라서 4-point probe에서 우리가 얻는 값은 면저항 값이 되며, 면저항 값에 두께를 곱하면 바로 비저항이 된다.
그림과 같이 두께 - T, 폭 - W, 길이-L을 갖는 직육면체에서 저항은 (식 1-20)과 같이 표현되며, 비저항을 두께 T로 나눈 면저항을 이용하면 저항값은 (식 1-21)과 같이 표현된다.


▶ 면저항 (ohm/sq = Ω/□ = Sheet resistance)
표면저항은 표면저항 단위인 ohm/sq로 계산하기 위해 보정계수(C.F)를 적용한다. 표면저항값은 Wafer, LCD, 태양전지, 연료전지, OLED 등 박막증착 후 박막의 전도성을 검사하기 위하여 쓰인다.

참고 자료

없음