[박막실험] 4point probe(저항측정)

소개글

쓰기 까다로운 4point probe의 원리에 대해 체계적으로 정리했습니다..

싼가격에 올려 놓았으니 많이 이용해 주세요..^^

절대 내용이 떨어지지 않습니다..

목차

1. Four Point Probe 에 대해서
(1) Four Point Probe 란 무엇인가?
(2) Four Point Probe 의 간단한 적용
2. Four Point Probe 의 원리 및 이론
(1) 기본적인 원리
3. Four Point Probe 의 일반적 사용법
(1) 일반적인 Four Point Probe 사용시 주의 사항
(2) 측정 능력의 한계
(3) 저항치의 계산
(4) 일반적인 사항
(5) 기본적인 조작 순서
4. Four Point Probe 의 특징
(1) 장 점
(2) 단 점
5. 참고 문헌

본문내용

2. Four Point Probe 의 원리 및 이론
(1) 기본적인 원리
저항 Rho 는 특히 반도체 분야에서 샘플의 불순물 농도 때문에 중요한 파라메타이다. four point probe는 보통 벌크 저항을 측정하는데 사용한다. 캐리어의 운동성은 온도, 결정결함의 농도, 분순물의 농도에 의해 결정된다. 홀 이펙트 (Hall effect)의 측정은 주어진 샘플의 정확 한 dopant 의 농도를 측정함으로써 가능하나, 홀 이펙트 측정은 항상 샘플을 부숴야 하는 단 점이 있다. 4-four point probe 는 동일선상에 놓여진 텅스텐 와이어 프로브를 포함하고 있 으며, 샘플의 표면을 접촉하도록 되어 있다. 전류(I)는 바깥쪽 프로브 사이에서 흐르며, 전압(V)는 안쪽 프로브 사이에서 측정하여 전류 의 손실이 없도록 하였다. 샘플이 어느 정도 무한한 부피를 가지고 있고 프로브 안쪽의 간격 이 s1= s2 = s3 = s 라면 어느 정도 무한한 볼륨의 저항은 다음과 같다.
Rho = (2ρ×s) (V / I) (1)
진행된 공식은 측정된 저항치를 나타내며, 실제값 Rho 와 같으며, 어느 정도 무한한 볼륨의 샘플이라 가정한다. 실제적인 샘플은 물론 한정된 크기이다. 물론 실제의 샘플에 있어서 사이 즈는 한정되어 있다. 일반적으로 어느 프로브에서 가장 가까운 경계까지의 거리 (최소 5s) 에 서는 Correction factor 가 필요하지 않다.

참고 자료

없음