[공학]FED의 에미터

목차

1.실험제목
2.실험목적
3.실험기구, 장비, 재료
4.실험원리
5.실험방법
6.실험 결과 및 고찰

본문내용

1.실험제목 : FED의 에미터 제작
2.실험목적 : 탄소 나노튜브를 이용하여 전계방출 특성이 우수한 전계방출디스플레이의 캐소드를 제작
3.실험기구, 장비, 재료 :
-PECVD장비
-기판

4.실험원리 :
-PECVD :일반적으로 CVD라고 하면 source gas를 열적으로 분해 시켜서 필요로 하는 박막을 증착하는 기술이다. 이때 gas를 분해 시키기 위해서는 대부분 600℃이상의 온도가 요구된다. 그러나 PECVD는 source gas의 분해를 플라즈마를 이용함으로써 비교적 낮은 온도에서 gas를 분해시킴으로써 박막 증착을 할 수 있다.
장점단점1. Low temperature process 1. Films are not stoichiometric2. Good adhesion 3. Good step coverage 2. Variety and complex parametersfor optimization condition4. Low pinhole densityAPCVD나 LPCVD와 는 달 리 RF generator, matching box등 이 필요함PECVD에서 박막성질에 기여하는 증착조건RF power density, frequency, duty cycle, Temperature, Gas composition, flow rates, Pressure

5.실험방법 :

①CNT를 성장시킬 Glass를 챔버안에 넣는다
②로타리 펌프로 진공을 잡는다.(10-2 정도 까지 잡힌다.)
③Oil 펌프로 고진공을 잡는다.
④가스양을 조절하거나 펌핑되는 정도를 조절하여 적정한 torr를 맞춘다.
⑤전극을 연결한 후 CNT를 성장시킨다.

6.실험 결과 및 고찰

1. PECVD를 이용한 에미터 제작 결과를 분석하자.
따로 결과는 받지 못해 아쉬웠다. PECVD장비에는 MFC, 로터리 펌프, Oil펌프, 그리고 여러 기체가 들어가는 관을 보았다. CNT를 성장시키기 위해 2가지 가스가 필요하다. C2H2 + NH3 가 필요한데 우리실험에서는 암모니아 대신 N2가스를 이용하였다. C2H2은 CNT에서의 탄소의 Source역할을 하고 NH3은 CNT가 수직상승을 하며 성장하도록 하는 역할을 한다.

참고 자료

없음