XPS예비보고서

소개글

XPS (X-ray Photoelectron Spectroscopy)실험의 예비보고서 입니다.

목차

1. 실험제목
2. 실험 목적
3. 이론
3.1 XPS
3.2 AES
4. 결론

본문내용

1. 실험제목
XPS (X-ray Photoelectron Spectroscopy)

2. 실험 목적
100Å 이내의 아주 얇은 표면층을 다룰 수 있는 X-ray Photoelectron Spectroscopy와 electron beam을 이용하는 Auger Electron Spectroscopy를 알아보고 기계를 다루어 보는 것이다.

3. 이론
3.1 X-ray photoelectron Spectroscopy
① 기본 원리
일정한 에너지를 가지는 X선을 시료에 쬐면 시료로부터 광전자들이 방출되는데 광전자들의 운동에너지를 측정하면 광전자를 시료로부터 방출하기 위해 필요한 에너지인 binding energy를 알 수 있다. 이 binding energy는 광전자를 방출하는 원자의 고유한 성질이기 때문에 이를 아는 것은 곧 원소의 분석을 행할 수 있다는 것이 된다. 그러므로 시료의 정성 분석은 광전자의 binding energy를 측정함으로써 이루어진다.
광전 효과에 관한 Einstein의 식으로부터 binding energy Eb는 다음과 같이 계산된다.
Ek = hν - Eb - eΦsp
Eb = hv - Ek - eΦsp
Ebv = Eb + eΦs = hv - Ek + ( eΦs - eΦsp )
Ek : spectrometer에서 측정되는 광전자의 운동에너지
hv : 광자의 에너지
Eb : 광전자를 방출하는 orbital의 spectrometer Fermi 준위에 대한 binding energy
e : 전자의 전하
Φsp : spectrometerwork function
Ebv : 광전자를 방출하는 궤도의 vacuum level에 대한 binding energy
Φs : 시료의 work function (금속의 경우)

참고 자료

물리학 실험 Manual