원자분광법을 이용한 반도체 분석

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목차

원자분광법
A. 원자 흡수 분광법(AAS)
B. 원자 방출 분광법(Atimic Emission Spectrometry, AES)
C. 참고문헌

본문내용

원자분광법
A. 원자 흡수 분광법(Atomic Absorption Spectrometry, AAS) : 정확한 주파선의 복사선을 불꽃으로 통과시킨 후 투과된 복사선의 세기를 측정한다.
B. 원자 방출 분광법(Atomic Emission Spectrometry, AES) : 불꽃에서 들뜬 상태의 원자로부터 복사선이 방출된다. 방출된 전자기파를 분석하여 분석 시료에 존재하는 원소를 분석한다.
A. 원자 흡수 분광법(AAS)
AAS(=Atomic Absorption Spectrometry)는 원자 흡수 분광법으로 용액의 화합물을 분석하는데 주로 사용된다. 분석을 위해서는 입자가 원자화되어야하며 원자화는 액체 시료를 자유 원자로 전환하는 과정이다. 분석 장비인 원자 흡수 분광계 (또는 원자 흡광 광도계)를 사용하여 광원으로부터 생성된 전자기 방사선의 고유한 파장을 통해 액체 또는 고체 샘플의 원소를 감지한다. 각기 다른 원소는 파장을 다르게 흡수하며 흡광도는 표준에 의하여 측정한다. 결과적으로 AAS는 서로 다른 원자에 의해 흡수되는 구별된 방사선 파장을 활용한다.
ASS에서, 고유의 특징적 파장이 방출되고 기록되도록 용액은 우선 원자화되며 그 후 원자에 열이나 전기를 가하여 들뜨게 하면 전자는 그 원자가 특정 에너지를 흡수할 때 각각의 원자에서 하나의 에너지 준위로 이동한다.

전자가 원래 에너지 상태로 돌아오면 빛의 형태로 에너지를 방출하며 이 빛은 원소의 고유 파장을 가지고 있다. 따라서 빛의 파동 및 세기에 따라 특정 워소를 감지하고 농도를 측정할 수 있다.
표준 원자 흡광 광도계는 시료도입부, 광원부, 다샌화장치 및 다생화장치, 검출부로 구성되어 있다.

참고 자료

https://koreascience.kr/article/JAKO199519068856801.pdf
https://m.blog.naver.com/PostView.naver?blogId=lys20c&logNo=222667231368&targetKeyword=ICP-AES&targetRecommendationCode=1&keywordSearchType=TEXT
https://ccrf.skku.edu/ccrf/property/property_ICP.do
https://m.blog.naver.com/thermofisherkorea/222319097873