ALD 정리 및 개발동향 보고서, 특허 map
- 최초 등록일
- 2020.12.11
- 최종 저작일
- 2017.10
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소개글
반도체 공정 중 1개를 선택해서, 특허map을 작성하는 과제였습니다.
해당 공정의 시초가 되는 특허를 찾고, 그 특허에서 이어지는 특허들을 찾으면서 개발 동향을 찾는 과제입니다.
추가로 ALD 정리및 개발동향 보고서입니다.
목차
1. 선정 이유
2. List
3. Map
4. Patent
본문내용
1) Method for producing compound thin films
Highly oriented compound thin film을 제작하는 방법
#청구항1
기판의 표면과 vapor가 반응할 수 있는 온도
Vapor of a first single element를 기판과 반응시켜 first single element atomic layer 형성
Vapor of a second single element가 first layer와 반응하여 second layer 형성
반복하여 desired thickness에 도달
참고 자료
http://www.kipris.or.kr/khome/main.jsp (patent list)
http://blog.naver.com/pjh5633/220805675137
https://www.google.com/patents/US4058430 (original patent)
https://www.variantmarketresearch.com/report-categories/semiconductor-electronics/atomic-layer-deposition-equipment-market (ALD market size)
압축파일 내 파일목록
ALD 정리 및 개발동향.hwp
ALD 특허 map.pptx