[물리학과][진공 및 박막실험]Furnace를 이용한 산화막 증착 결과보고서
- 최초 등록일
- 2020.09.23
- 최종 저작일
- 2016.12
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소개글
"[물리학과][진공 및 박막실험]Furnace를 이용한 산화막 증착 결과보고서"에 대한 내용입니다.
목차
1. 실험목적
2. 실험결과
3. 결론
4. 토의
5. 참고문헌
본문내용
1. 실험 목적
도체 제조 공정에서 쓰이는 산화막을 형성하는 장비는 크게 Furnace, CVD, Evaporator가 있으며 진공이 아닌 습식공정으로 Sol-gel법을 이용한 TEOS 공정이 있다. 이중 Furnace를 이용해서 산화막을 증착한다.
2. 실험결과
3. 결론
도체 제조 공정에서 쓰이는 산화막을 형성하는 장비는 크게 Furnace, CVD, Evaporator가 있다는 것을 알게 되었고, 진공이 아닌 습식공정으로 Sol-gel법으 이용한 TEOS 공정이 있다. 이중 Furnace를 이용해서 산화막을 증착해보았다.
참고 자료
http://nsldau.blogspot.kr/2013/10/furnace-sio2.html
http://kin.naver.com/open100/detail.nhn?d1id=11&dirId=1118&docId=309851&qb=7KCE6riw66Gc66W8IOydtOyaqe2VnCDsgrDtmZTrp4kg7Kad7LCp&enc=utf8§ion=kin&rank=1&search_sort=0&spq=0&pid=TvJ6MdpySDNssuE8BFhsssssssV-111907&sid=PhTdWdGTKE1etVGBcKmLrA%3D%3D