[물리화학실험] Fundamental substrate study & optical microscope 예비레포트

소개글

물리화학실험에서 A+받은 'Fundamental substrate study & optical microscope' 예비레포트입니다

목차

1) 실험제목
2) 실험날짜
3) 실험목적
4) 시약 및 기구
5) 실험이론
6) 실험과정
7) 참고문헌

본문내용

1)실험제목
: Fundamental substrate study & optical microscope

2)실험날짜
: 2019.06.03

3)실험목적
: 물리화학 실험에서 사용하는 기본적인 substrate의 종류를 숙지하며, 실험 전 처리 과정에 대해 알아본다. 또한 Substrate 위 sampling을 하여, optical microscope 로 관찰하여 본다.

4)시약 및 기구
: Si-wafer(highly p-doped), SiO2 doped Si-wafer, glass, ITO glass, cover glass, plasma cleaner, uv/O3 cleaner, optical microscope, spin coater, 자유시료, 다이아몬드 칼, 트위저

5)실험이론
①현미경의 구조와 원리
⦁접안렌즈: 눈과 접하는 렌즈
⦁대물렌즈: 시료(슬라이드)와 가까이 위치하는 렌즈
⦁조동나사: 시료의 초점을 대략적으로 맞출 때 사용
⦁미동나사: 조동나사를 통하여 대략적으로 맞춰진 초점을 더 정확히 맞출 때 사용

참고 자료

Handbook of silicon wafer cleaning technology/Karen A. Reinhardt
https://www.microscopeworld.com(t-dorkfield-microscopy)
https://petrologyservices.com/transmitted-and-reflected-light-microscopy
https://www.youtube.com/polarizing microscope
https://en.wikipedia.org
Microscopic Techniques
Technical News/Ultraviolet-Ozone Surface Treatment
Plasma Cleaning of Surfaces/A. Belkind and S. Gershman