반도체소자 용어정리

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본문내용

2) positive resist , negative photoresist
- 빛에 의해 분해 또는 연화되는 레지스트를 말한다.

3) quasi fermi level
- 평형상태가 아닌 조건하의 반도체에서 캐리어 농도를 규정하는데 사용되는 에너지 준위이다.

4) drive in
- 확산 제조 과정에서 소스를 제거한 부분

5) wet oxidation
- 열 산화법은 산화층 내부와 SiO2/Si 계면에 결함을 거의 생성시키지 않는 방법으로서 우수한 특성의 절연막을 형성시킬 수 있는 기술이다. 반응기체로 산소와 수증기의 혼합물을 사용하는 경우를 습식 산화라 한다.

6) built in potential
- 열평형 하의 반도체 접합면에 형성된 공핍층을 가로질러 나타나는 전위차

7) degenerate semiconductor
- 진성반도체에 불순물을 도핑하여 페르미 준위가 전도대나 가전자대로 들어가게 되는데 이러한 경우를 축퇴된다고 하고 반도체는 금속과 같은 성질을 가지게 된다.

참고 자료

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