Soft Lithography의 이해 및 응용 예비보고서
- 최초 등록일
- 2016.12.22
- 최종 저작일
- 2016.08
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목차
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본문내용
1.1 Soft lithography란
화학, 생물학, 촉매, 유기전자와 에너지저장 및 변환 등의 응용분야에 마이크로 및 나노패터닝의 이용이 각광받고 있는데 기존의 나노구조를 제작하는 기술은 장치, 시약 등의 기술비용이 크거나 유기나 생체물질의 이용과 곡면이나 유연한 기판의 적용에 한계를 갖기 때문에 새로운 미래 기술은 이런 문제를 해결하는 방향으로 진행되고 있다.
1990년대 초부터 Harvard 대학의 Whitesides 교수는 미세접촉프린팅(microcontact printing, μCP)과
미세몰딩(micromolding)을 소프트 리소그래피(soft lithography)라는 방법으로 정의하고 많은 독보적인 연구 결과들을 발표하였다. 소프트 리소그래피 방법은 유연한 유기물질(작용기를 갖는 알칸과 고분자물질)을 사용하여 기존의 포토리소그래피에서 사용하는 복잡한 장치를 사용하지 않고 패턴(pattern)이나 구조물을 만드는 새로운 전사법을 말한다.
참고 자료
박경선·이기석·성명모, Soft Lithographic Methods to Micro/Nanofabrication, Polymer Science and Technology Vol. 23, No. 6
고분자 금형을 이용한 소프트 나노임프린트 리소그래피 (박찬익, 정훈의, 서갑양 / 서울대학교 기계항공공학부)
황민영, 문경숙, 구상모, AFM을 이용한 나노 패턴 형성과 크기에 따른 광특성 시뮬레이션, J. KIEEME Vol. 23, No. 6, pp. 440-443, June 2010 DOI: 10.4313/JKEM.2010.23.6.440
Jeonghun Kim, Jong Kwan Koh, Byeonggwan Kim, Jong Hak Kim, and Eun kyoung Kim, Nanopatterning of Mesoporous Inorganic Oxide Films for Efficient Light Harvesting of Dye-Sensitized Solar Cells, Angewandte Chemie International Edition · July 2012 DOI: 10.1002/anie.201202428
