Alq3의 발광 박막의 제조

소개글

Alq3 농도에 따른 IR, UV, 형광 스펙트럼입니다. 이론도 충실하게 만들었으니까 많은 관심 바랍니다. 좋은 하루 되세요.^^

목차

목적

이론

실험 방법

실험 결과

고찰

본문내용

목적
하여 박막 재료 제조 공정의 이해를 돕는다.
이론
박막(Thin firm)
기계가공으로는 실현 불가능한 두께 μ m 하의 엷은 막
성질
물리적 · 화학적 성질이 크게 변함.
일반적으로 점성이 커짐.
표면장력이 작아짐.
빛의 간섭에 의해 착색 현상 발생
이론
박막제조공정(Thin film process)
thin film deposition(증착)과 photolithography(사진식각) 기술을
이용하여 원하는 형상의 회로를 형성하는 일련의 과정.
이론
증착 하고자 하는 물질(metal, dielectric,
insulator, polymer 등)을 수 십~수 천 A
(1 A = 10-4 micron) 두께로 특정 기판
상에 올리는 과정
thermal evaporation(열 증착)
e-beam evaporation(e-beam 증착)
Sputtering
CVD(chemical vapor deposition)
MOCVD (metal-organic chemical
vapor deposition)
MBE
Thin film deposition(증착)
사진 현상 및 식각 기술을 이용하여deposition되어 있는 film을
미세 회로 형상으로 구현하는 과정
Photolithography(사진 식각)
방법
이론
진공 증착법 (眞空蒸着法)
진공의 용기 속에 기판과 그 표면에 부착시키려는 금속 등의 입자를 넣어 둔 다음, 히터에 전류를 흘러서 가열함으로써 그 금속입자를 증발시키면, 차가운 물체 표면에 응축해서 부착하는 것을 이용하여 균일한 막을 입히는 방법
유기발광박막의 제조에 있어서 널리 사용.
>기판에 손상을 주지 않으며, 용액 코팅법 보다 공정이 간단.

참고 자료

없음