[mems technology] micro pump

소개글

1. Micro Pump의 필요성

2. Micro Pump의 종류
(1) Mechanical Pump
(2) Non-Mechanical Pump

3. 각 Micro Pump에 따른 동작원리

목차

1. Micro Pump의 필요성

2. Micro Pump의 종류
(1) Mechanical Pump
(2) Non-Mechanical Pump

3. 각 Micro Pump에 따른 동작원리

4. 결론

본문내용

1.Micro Pump의 필요성
● 화학적, 생물학적 미소분석 시스템 및 미소 유량 조절 시스템에 대한 관심이 증가
● 최근 MEMS기술의 발달과 더불어 마이크로 펌프, 마이크로 밸브와 같은 미세 유량 제어의 유체 소자에 대한 개발의 필요성이 대두되고 있다.
⇒ 마이크로 밸브나 마이크로 펌프 등의 마이크로 유체 소자를 이용한 미소 영역에서의 유동 제어에 대한 연구가 수행되고 있다.

참고 자료

없음