PLD 장비 매뉴얼

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최초 등록일: 2011.01.17
최종 저작일: 2011.01; 3페이지/ 한컴오피스; 가격 1,500원

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소개글

Pulsed Laser Deposition(PLD)의 동작 매뉴얼입니다.

본문내용

PLD- SiO2/Si 위에 ZnO 증착
1. Laser controller On(key를 시계방향으로 돌린 후 뒤쪽 Button을 당긴다.)
2. Laser shutter Open
3. Lens Cover 벗긴 후 Laser setting : Enter →1585V, 10Hz → Q switch
4. PLD main power On → Start
→ 위에서부터 차례대로 On → Gas/ Gas power system On
5. Vent valve open : 천천히 열고 바로 닫아야 함.
6. 시료장착 : Shutter open → Substrate holder, target 꺼내기
→ Sand paper로 target 갈기 → target holder에 평평하게 고정
7. 저진공(3*10-2Torr)
: Rotary pump On
→(1분 후) R.V Open

이하생략

참고 자료

없음

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