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반도체

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최초 등록일
2010.02.06
최종 저작일
2010.02
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소개글

1.ION-PLATING 개요

2.ION-PLATING 원리

3.ION-PLATING 응용

4.ION-PLATING
장비 및 공정

5.개발 방향

목차

1.ION-PLATING 개요

2.ION-PLATING 원리

3.ION-PLATING 응용

4.ION-PLATING
장비 및 공정

5.개발 방향

본문내용

, 산화물 그리고 탄화물을 만든다.
3. ION-PLATING 응용

① Cutting tools(절삭공구)
- Life Extension (수명연장)
TiN과 같은 경질내마모막은 커팅공구의 내마모성을 개선하고, 그러한 수명연장의 결과 최근에 개발된 TiCN,TiC,TiAIN 막은 더 뛰어난 능력을 얻을 수 있다.

- Higher Productivity (高생산성)
하드코팅한 기계공구는 더 빠른 기계속도에서 사용할 수 있다.향상된 커팅속도는 高생산이 가능하다.
② 펀치와 금형
최상의 경도를 가진 TiN으로 코팅하는 HCD이온플레이팅은 펀치와 금형의 수명을 향상시킨다. HCD이온플레이팅의 저온공정은 CVD(화학적진공증착)보다 낮은 서브스트레이트의 정밀을 유지하게 한다.

③ Mecher Productivity(기계부품)
공정온도가 낮은, 최상의 밀착력을 얻는 HCD (= Hollow Cathode Discharge)이온플레이팅 방법은 기계부품의 코팅에 가장 유리한 방법이다. HCD이온플레이팅으로 증착한 마찰성이 좋은 TiN은 격한 미끄럼 피복접촉을 하는 면에 적용한다.

④ 장식품
TiN,TiCN,ZrN,ZrCN,HfN (질화하프니움)의 코팅은 내마모성과 내식성뿐만 아니라 매우 매력적인 색상을 가져서 장식적인 용도로 폭넓게 적용할 수 있다.

⑤ 주스기의 날
TiN코팅은 내식성 및 내마모성을 지닌다.

⑥ 시계베젤 및 밴드
특이하게 TiN은 화학적으로 안정하다. 따라서 코팅된 시계베젤 및 밴드의 표면은 더 오랜 기간동안 쓸 수 있다.

PAPVD는 전자재료, 광학재료, 장식재료 등으로 널리 활용되고 있지만 여기에서는 초경피막(Hard coating) 분야의 응용 현황에 대해서 주로 논의하기로 한다. 재료의 수명을 좌우하는 요인 중에 실제로 수명에 가장 큰 영향을 주는 것이 부식과 마모이다. 이에 대한 대비는 소재 자체의 내식성과 내마모성을 향상시키는 방법과 표면개질을 통해서 내식성과 내마모성을 부여하는 방법으로 나눌 수 있다.

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