이온 플레이팅

소개글

이온 플레이팅에 대한 레포트 입니다
산거 아니고요 제가 나름대로 정리 좀 한거예요~~점수도 잘 받았고요~

목차

1. 진공증착의 분류
2. 이온 플레이팅(Ion Plating)이란?
3. 이온플레이팅(Ion Plating)의 역사
◆ 이온 플레이팅에서의 플라즈마
◆ 이온 플레이팅에서의 이온빔
4.이온플레이팅의 원리와 장비 및 공정
◆ DC-diode 아르곤 방전
◆ 기본적인 메카니즘
◆ 아르곤 방전에서 음극에서의 충돌
5. 이온플레이팅의 종류
6. 이온플레이팅의 특징
7. 이온 플레이팅 처리 시 고려 사항
8. 문제점과 개선방안
9.응용분야 및 개발방향
◆ 참고문헌

본문내용

2. 이온 플레이팅(Ion Plating)이란?
플레이팅(Plating)이란 금속재료의 표면을 다른 종류의 금속 또는 합금의 얇은 막으로 피복을 하는 것을 말한다.
ION-PLATING은 고체물질을 가열 혹은 입자를 충돌시켜 원자, 분자로 분해하고 다시 이것을 D.C나 R.F전원으로 이온화시켜 처리물질의 표면에 응축시켜서 박막을 형성하는 방법 이다. 흑피처리나 질화 방법에 비해 월등히 내마모성을 개선할 수 있는 물리적 증착법이다.
일반적으로 이온 플레이팅에 의해 형성된 막은 in-site cleaning process 확산층형성 때문에 종래의 진공증착이나 습식도금에 비하여 밀착력이 50∼100배 뛰어나며, 방전에 의한 활성화 효과로 균일한 화합물 막을 쉽게 얻을 수 있다. 즉, 진공증착에서는 증착물질에서 증발한 분자(원자)가 곧바로 표면에 날아와 퇴적하는 데에 그치는 반면 이온 플레이팅의 경우 증발분자들이 증착 될 판재의 표면에 날아와서 높은 에너지로 퇴적한 입자를 격렬하게 휘젓기 때문에 진공증착보다 훨씬 치밀하고 단단한 막을 형성한다. 이러한 장점을 보유한 이온 플레이팅은 제품의 고급화와 경량화 추세에 따라 항공기 부품 및 초경공구, 의료기부품, 각종 기계부품, 시계부품, 악세사리(피어싱)등 산업 전반에 널리 응용되고 있으며 습식도금 업계의 폐수 발생으로 인하여 많은 업체가 이온 플레이팅 코팅으로 전환하려고 하는 추세에 있다.
PVD법 중에서 밀착성이 가장 우수하고 수㎛ 이상의 경질피막이 얻어질 수 있으므로 공구나 금형 등으로의 응용범위가 급격히 확대되고 있다.

3. 이온플레이팅(Ion Plating)의 역사
1963년 미국의 Mattox에 의해 처음 개발된 이온 플레이팅은 진공용기 내에서 금속을 증발시키고 기판(모재)에 -1kV 이상의 음극 바이어스를 걸어 줌으로써 단순한 2극형 글로 방전(glow discharge)을 도입한 것이다. 글로 방전(glow discharge)의해 이온화가 촉진되게 함으로써 진공증착보다 밀착력이 우수한 피막을 얻는 방법이다.
글로 방전에 필요한 분압을 얻기 위해 불활성 기체인 Ar을 10의-2승 Torr 수준으로 도입하였으며 주로 Ar 가스가 이온화되어 기판에 입사하면서 증착층의 표면에 충돌함으로써 운동량 전달에 의하여 증착층의 밀착성을 향상시키고 미세조직을 치밀하게 하는 효과를 얻었다. 이처럼 이온화시키는데는 일반적으로 글로우방전이 사용되는데, 방전되는 도중에는 매우 다양한 입자가 생성된다. 이온플레이팅의 효과를 향상시키기 위해서는 이온화율(기판에 도달한 증발입자중 이온화된 원자의 비율)을 높이는 것이 필요하다.

참고 자료

http://www.thinfilm.co.kr/qna/qnaview.asp?tname=&page=2&idx=24
http://www.hyoshinmetal.co.kr/pdf/coating.pdf?PHPSESSID=0955639b1cb27c682f2dea5f5f75d58f
http://www.shpic.co.kr/main01_2.htm
http://www.univac.co.kr/main/main.htm
http://metal.or.kr/new/college/lecture/heattreat/heat09-07-04.htm
EIC 전자정보 센터
http://www.yeskisti.net/ 과학기술정보 포털서비스