Four Point Probe Resistivity measurement 예비보고서

소개글

Four Point Probe Resistivity measurement 예비보고서

목차

1. 서론

2. 실험 방법

3. 참고 문헌

본문내용

Four - point porbe
(4pp) Measurement
○○○ 교수
□□□□ and ○○○ Laboratory, Department of ○○○, □□□ University
△△△
Department of ○○○, □□□ University
Four point probe는 4-point probe, 4-point head, 4pp, FPP, 4탐침 등으로 불리며, 탐침이 4개가 달린 표면 저항 측정용으로 사용하는 probe를 말한다. 보통 1mm 간격으로 일렬로 탐침을 정렬시킨 것(Linear type)을 이용한다. 이외에 탐침을 정방형으로 나열시킨 Squre type의 Hall probe와 고온까지 견딜 수 있도록 특수 제작된 고온용 probe가 있다. 4-point probe를 하는 목적은 어떠한 반도체 물질 위에 덮여진 금속막의 비저항을 측정하기 위한 것이다. 측정하는 곳은 앞에서 이야기한 4-point probe에서 측정하게 된다. 실험을 통하여 4-point probe 개념을 이해하고, 면저항 및 저항율의 개념을 이해한다. 또 구한 면저항을 이용하여 금속 박막과 도핑된 실리콘의의 저항율을 추출한다. 저항율을 이용하여 반도체 시료의 불순물 농도를 추출한다.

참고 자료

[1] Four-point probe Manual
[2] Wepsite - http://ceramic-powders.kicet.re.kr
/downfile/4point%20probe.pdf
[3] Wepsite - http://www.4pointprobe.com/
[4] Wepsite - http://blog.naver.com/tanato0?
Redirect=Log&logNo=60064041784