신소재공학 텀프로젝트 mems 에 관한 보고서

소개글

신소재공학 수업시간에 mems 를 주제로 텀프로젝트를 하였습니다.
저희조의 자료에 교수님께서 정말 칭찬을 하셨고 텀프로젝트 이거 하나때문에
팀원모두가 A+이 나왔습니다. PPT자료와 보고서 자료 모두 첨부하였습니다.
심혈을 기울여 만든것으로 mems에 대한 모든것이 다 있습니다.

목차

한글파일
1. MEMS의 개요
1.1 MEMS의 정의
1.2 MEMS의 발전 과정

2. MEMS의 공정
2.1 공정기술 종류 (현장 실습)
2.2 사용 재료

3. MEMS의 특성
3.1 MEMS의 중요성
3.2 MEMS의 장점
3.3 MEMS의 단점

4. MEMS의 응용
4.1 MEMS의 분류
4.2 MEMS의 응용분야
4.3 MEMS의 국내활용 예

5. MEMS의 전망과 발전
5.1 MEMS의 시장 전망
5.2 미래의 MEMS 제품
5.3 MEMS의 발전 방안

6. 결 론

*참고문헌*

ppt
1. MEMS의 개요
2. MEMS의 공정
3. MEMS의 특성
4. MEMS의 응용
5. MEMS의 전망과 발전
6. 결 론

본문내용

1. MEMS의 개요
- 공상과학 영화를 보면 혈관에 삽입된 초미세 로봇이 인체 내의 환부를 찾아 손상된 세포를 복원하는 장면이나, 먼지와 같은 크기의 초미세 센서들을 적지에 뿌려 이들로부터 적의 동태에 대한 정보를 입수하는 장면이 나온다. 이런 꿈을 현실로 만드는 기술이 바로 MEMS이다. 현미경에 의하지 않고서는 형체를 알 수 없을 정도로 작은 기계가 공상 소설의 영역을 벗어나 이제 현실공학의 최첨단 신기술의 한 분야로 정착되고 있다. 이런 MEMS에 대해 알아보기로 하자.

1.1 MEMS의 정의

MEMS 기어
MEMS는 Micro Electronic Mechanical System의 약자로 번역하면 초소형 전자 기계 시스템이다. MEMS의 정의를 내리자면 입체적인 미세구조와 회로, 센서와 액추에이터를 실리콘 기판위에 집적화 시킨 것으로 크기가 소형이면서 복잡하며 고도의 동작을 하는 시스템이다. MEMS를 유럽에서는 마이크로시스템, 일본에서는 마이크로머신, 마이크로 메카트로닉스 등의 이름으로 부르고 있다. 이런 용어가 특정한 초소형 대상물 자체를 지칭하는 것 이외에 초소형 대상물을 만드는 가공기술을 표현하는 의미까지 포함하여 사용되고 있다.
개미와 같은 마이크로 로봇을 인공적으로 만들어서 미소한 운동이나 작업을 시키려고 하는 것이다. 즉, 개미의 눈이나 촉각에 해당하는 각종 센서, 뇌나 신경에 해당하는 논리 회로, 팔과 다리에 대응하는 마이크로 메카니즘, 그것을 움직이게 하는 마이크로 액추에이터를 하나로 하는 시스템을 일컫는다. 즉, MEMS란 마이크로머신이 느끼고 생각하며, 운동 하는 시스템을 일컫는다. 크기는 수mm에서 수nm까지에 이르며 수cm크기라 해도 마이크로 머신이라고 불리는 경우도 있다.


MEMS 기술로 만든 칩의 크기

초소형 정밀기계기술을 다루고 있는 크기의 기본 단위는 마이크로미터(0.001mm)로 사람 머리카락의 직경이 약 100 마이크로미터(0.1mm) 내외 인 것을 고려할 때 초소형 기계나 초소형 부품들은 대개 이 머리카락의 직경정도의 크기를 가지며, 머리카락 속에 모터나 기어 등이 들어있다고 생각하면 된다.

MEMS 기어와 진드기

규모에 따른 산업

1.2 MEMS의 발전과정
- 1960년대 초의 MEMS는 반도체 칩을 만드는 실리콘 가공기술에서부터 시작되었으므로 최초의 연구는 실리콘 기판 상에서 미세 기계요소 즉, 밸브, 모터, 펌프, 기어 등의 부품을 2차원 평면으로 제작한 것이 그 시초였다. 이의 발전은 마이크로 센서의 수요 확대에 힘입어 실리콘 기판위에 압력센서, 가속도 센서등과 신호처리용 집적회로, 그리고 센서에 의해서 제어가 가능한 마이크로 액추에이터를 집적화하여 인텔리전트 시스템을 구현하려는 의도가 있었다.

참고 자료

1. 윤준보(2004).『알기쉽고 재미있는 MEMS 이야기』. KAIST Press
2. 한국과학기술정보연구원 기술정보분석실(2005).『MEMS 기술』.서울: 한국과학기술정보연구원
3. 한국과학기술정보연구원 기술정보분석실(2006).『마이크로/나노시스템기술의 발전』.
서울: 한국과학기술정보연구원
4. 변문현 ․ 신효준 ․ 남시도(2007).『의료용 마이크로․나노머신의 기술동향』.서울: 한국과학기술정보연구원

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