MEMS 응용- Micro-Scanner

소개글

MEMS 의 응용분야중 한 가지로
MEMS 기술을 이용하여 초소형 스캐너를 제작하는 것을 소개한다.
제작 방법, 과정 그리고 MEMS 스캐너의 실제 응용 개발장치를 보여준다.

목차

1. MEMS 의 개괄적 소개
2. Micro-scanner (초소형 스캐너)의 제작(Fabrication)
3. Micro-scanner (초소형 스캐너)의 응용장치(Application)
4. Micro-scanner 의 개발동향

본문내용

◆ MEMS Technology
Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) is the integration of mechanical elements, sensors,
actuators, and electronics on a common silicon substrate through microfabrication technology. While
the electronics are fabricated using integrated circuit (IC) process sequences (e.g., CMOS, Bipolar,
or BICMOS processes), the micromechanical components are fabricated using
compatible micromachining processes that selectively etch away parts of the silicon wafer or add
new structural layers to form the mechanical and electromechanical devices.

MEMS 는 Micro-Electro-Mechanical Systems 의 준말로서
기계적 소자, 센서, 구동기, 전자장치등을 초소형 (마이크로는 마이크로미터 를 상징하기도 하지만 그만큼 작다는 의미임) 장치를 나타내는 말이고
MEMS fabrication 은 이러한 장치를 제작하는 공정을 뜻한다.

본 ppt 자료에서는
MEMS 기술을 이용하여
micro mirror (초소형 거울)을 제작하고, 이를 이용하여 초소형 스캐너로 사용하는 것
더 나아가 초소형스캐너를 실제로 적용한 장치를 소개하도록 하겠다.
물론 이 장치에 대한 간략한 설명도 첨부 한다.

참고 자료

없음