패턴화된 PDMS elastomer stamp을 nanoimprint 방법을 이용하여 만들어낸다. ... 이때 nanoimprint 방식을 이용하려면 기본 틀이 되는 mold를 먼저 만들어야 되는데, 이는 전통적인 photolithography을 이용하여 만들어낸다. ... 그러므로, 많은 비용을 요구하는 photolithography을 피하고, 이를 대체하기 위해서, Microcontact printing( CP), nanoimprint, inkjet
Nanoimprint lithography (Stephen Y. Chou,a) Peter R. Krauss, and Preston J. ... Nanoimprint lithography: challenges and prospects (S Zankovych1, T Hoffmann2, J Seekamp1, J-U Bruch3
메모리 분야의 생산능력에서 지속적으로 최고수준의 경쟁능력 보유 - 경쟁국에 비해 빠르게 생산비용을 절감 대량생산체제 구축 다양한 공정혁신을 통해 생산비용을 절감 나노임프린트 공정(nanoimprint ... 생산능력 - 생산능력의 효율성 향상을 통한 비용우위 - 경쟁국에 비해 빠르게 생산비용을 절감 대량생산체제 구축 메모리 분야의 생산능력에서 최고수준의 경쟁능력 보유 - 나노임프린트 공정(nanoimprint
이러한 문제점들을 해결할 수 있는 방법으로는 상온저압 프린팅 공정기술인 UV나노임프린트 리소그래피(ultraviolet nanoimprint lithography, UV-NIL)를 ... 고압 공정시에 패턴형상이 변하고 alignment가 어려운 등의 앞으로 해결해야 할 여러가지 단점도 가지고 있다 1996년 Chou교수가 개발한 가열방식의 나노임프린트 리소그래피(nanoimprint