AMD 실험 결과보고서 Measurement for TFT

소개글

경희대 정보디스플레이학과 AMD 실험 보고서입니다!
AMOLED panel TFT의 Active layer의 종류에 따른 특성 분석 보고서 입니다.
a-Si, LTPS, Oxide(IGZO)의 TFT 특성(Transfer Curve, Output Curve, Diode Curve, Mobility, Threshold Voltage, Saturation Vth, Swing) 분석 내용이 들어있습니다.
10가지 질문(본문내용)에 대한 답변 내용이 핵심이니 심사숙고하시어 참고하시면 좋겠습니다!

목차

Ⅰ. 실험목적
Ⅱ. 실험장비
Ⅲ. 실험방법 및 순서
Ⅳ. 실험결과
Ⅴ. 토의 및 분석
Ⅵ. 참고문헌

본문내용

Ⅰ. 실험목적
1. Probe station을 이용하여 TFT를 측정해보고 TFT의 Active layer를 구성하는 종류에 따른 특성을 분석해본다.
2. UV-vis spectrophotometer를 이용하여 TFT 투과도를 알아보고 Optical bandgap을 계산할 수 있다.

Ⅱ. 실험장비
∙ TFTs : a-Si TFTs, LTPS TFTs, a-IGZO TFTs를 준비한다. 3개의 TFT는 Active layer의 물질상태를 기준으로 한다.
이번 실험에서는 각 TFT에 따른 특성을 관측한다.
∙ Probe station : TFTs를 Probe로 Source, Drain, Gate에 놓고 측정해보며 특성을 나타내는 기기
∙ Semiconductor parameter analyzer : Probe station으로 찍은 특성을 그래프로 보여주는 기기
∙ UV-Vis spectrophotometer : Thin Film으로 만든 TFT를 빛을 이용해 Film의 투과도를 측정하는 기기
∙ Sigma plot : 추출한 law data를 그래프로 표현하는 tool

Ⅲ. 실험방법 및 순서
1. TFTs의 특성 측정
Probe station과 Semiconductor parameter analyzer를 준비한다.
TFTs를 Probe station위에 올려놓은 후 진공을 잡아 TFT를 Probe중앙에서 움직이지 않도록 한다.
Positioner의 X, Y축을 조절해 위치를 조절하고, Z축(높이)를 조절해 원하는 Pad에 3개의 Probe를 각각 Contact시킨다. Probe를 Contact시킬 때는 Probe가 Pad에 닿은 후 Probe끝이 밀리는 것이 보일 정도로 더 내려 Probe와 Pad를 밀착시킨다.
Probe Box의 조명을 끄고 문을 닫아 빛을 차단시킨 후, 측정한다.

참고 자료

Special Lectures on Display Technology/LG Display/ 디스플레이 기술 1 수업 교재
Special Lectures on Display Technology/Samsung Display/ 디스플레이 기술 2 수업 교재
Solid State Electronic Devices 6th / PEARSON
Grain boundary 예시 / http://blog.naver.com/coxem/220253629993
Short channel effect / http://blog.naver.com/nddd_00/220398505565