화공기실 MEMS 결과보고서 - 5조

소개글

화학공학실험

목차

A. 설계 목적
B. 실험 방법
C. 실험 결과
D. 고찰
E. 토의
F. 결론
G. 참고 문헌
H. 조원 분담표

본문내용

실리콘 기판위에 SU-8을 도포한다. 마스크를 이용해 선택적으로 자외선을 조사하여 Master Mold 제작후, 열경화 시킨다. 후에 PDMS를 분리한다. 산소 플라즈마를 가해 친수성으로 만든다음 slide glass에 부착하면 칩을 제작할 수 있다.

구리 기판을 이용한 mold 제작 (노광과 엣칭)

1) 현상액을 bath에서 40℃로 중탕하고, 에칭기 전
원을 켜서 온도를 55℃로 예열한다.
2) 감광기판을 필요한 크기로 PCB cutting기를 이
용하여 알맞게 재단한다. (25mm X 75mm)
3) 감광기판의 하얀색 보호 필름을 떼어내고, 초록
색 면을 상단으로 하여 photo mask와 alignment하
여 노광기를 이용하여 노광한다. (100sec)

<중 략>

이번 실험은 MEMS, 즉 미세유체장치를 직접 제작 및 유체의 유속을 측정 하는 실험으로 제작과정과 장치 활용도 적인 측면으로 나누어 진다. 눈으로만 확인 했을 경우 제작과정(Photolithography ~ slide glass)까지는 진행이 잘 되었으나 장치 활용도(채널을 유로로 설정하고 유체의 유속 측정)측면에서는 아예 유체가 흘러내리지 않는 현상이 있었다.
이에 제작과정 자체의 신뢰도도 보장할 수 없었고, 설계 목적인 압력(높이)과 유속과의 관계도 정립 할 수 없었다.

참고 자료

Chang W-J, Akin D, Sedlak M, Ladisch MR, Bashir R (2003)
Poly(dimethylsiloxane)(PDMS) and silicon hybrid biochip for bacterial culture. Biomed Microdev ,
281-290p

Unit Operation of Chemical Engineering, 7th ed., McGraw-Hill,
Warren L. McCabe, Julian C.Smith, Peter Harriott,
73-78p, 84p

Leclerc E, Sakai Y & Fujii T (2003) Cell Culture in 3-Dimensional Microfluidic Structure of PDMS (polydimethylsiloxane) Biomedical Microdevices,
109-114p

사구식물의 형질개선 및 세포배양을 위한 일체형 “Lab on a chip(LOC)"의 개발, (2007),
환경부 30-36p