부산대학교 졸업 포스터 발표 (Flexible Display용 PI기판 위 ITO 증착 시 Stage Temperature에 따른 특성 변화 연구)

소개글

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목차

1. INTRODUCTION
2. OBJECTIVE
3. EXPERIMENTAL
4. RESULTS & DISCUSSION
5. CONCLUSION

본문내용

INTRODUCTION
◈ ITO (Indium Tin Oxide) Film
● 우수한 전기 전도도 및 광투과도를 가지고 있어, 투명전극으로 많이 사용되고 있다.
● 인듐옥사이드(In2O3)에 주석(Sn, Tin) 을 SnO2의 형태로 첨가한 물질이다. Bandgap energy는 3.7eV이다.
◈ Polyimide Substrate
● Flexible display용 ITO를 증착하기 위해서는 유연성과 광투과성을 지닌 재료를 사용해야 한다,
● Polyimide는 유연성과 광투과성을 지니고 있으며, 공정상 높은 온도를 견딜 수 있는 내열성 및 내화학성 등의 우수한 물성을 가진다.

OBJECTIVE
● ITO 박막의 결정성을 향상하기 위해서는, 에너지를 가해야 한다.
● 실험에서 사용한 RF Magnetron Sputtering은 Stage Temperature를 조절하여 에너지를 부가할 수 있다.

참고 자료

없음