Laser Ablation에 의한 (Ba0.5, Sr0.5) Tio3박막의 제조와 전극에 따른 전기적 특성
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- 최초 등록일
- 2016.04.02
- 최종 저작일
- 1994.06
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서지정보
ㆍ발행기관 : 한국재료학회
ㆍ수록지정보 : 한국재료학회지 / 4권 / 4호
ㆍ저자명 : 윤순길
한국어 초록
Laser ablation기술에 의해 Pt와 YBacu3O7-x(YBCO)전극위에 epitaxially성장된 BST박막의 조성과 전기적 특성이 연구되었다. RBS분석으로부터 Pt전극 위에 증착된 BST박막의 결정성이 YBCO전극 위에 증착된 것보다도 더 우수하였다. 600˚C에서 Pt 전극위에 증착된 BST박막은 100kHz의 주파수에서 유전상수가 320, 유전손실이 0.023이었다. Pt전극위에 증착된 BST박막의 누설전류 밀도가 TBCO전극위에 증착된 것 보다도 더 작았다. 0.15MV/cm의 전기장 하에서 누설전류밀도는 약 0.8 μ A/ cm2이었다.
참고 자료
없음
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