ITO가 etching되고 나면 patterning된 ITO위에 남아있는 PR을 제거해 주어야 한다. ... OLED/PLED/OTFT/OPV device의 투명전극으로 사용되는 ITO를 원하는 pattern으로 식각하는 법을 습득한다. ? ... 전도성과 투명성이 높은 ITO glass는 기판에 여러 pattern을 그려 전도성에 따라서 여러 전자회로를 설계할 수 있다.
ITO가 etching되고 나면 patterning된 ITO위에 남아있는 PR을 제거해 주어야 한다. 3. ... 실험목표 OLED/PLED/OTFT/OPV device의 투명전극으로 사용되는 ITO를 원하는 pattern으로 식각하는 법을 습득한다. ... Inspection: optical microscopy로 patterned ITO glass 표면을 분석 및 검사 6.
ITO patterning (실험날짜:) 2.실험조 및 실험자 - 조 : 13신소재공학과 3.실험목적 ? ... OLED/PLED/OTFT/OPV device의 투명전극으로 사용되는 ITO를 원하는 pattern으로 식각하는 법을 습득한다. ? ... ITO patterning (예비 레포트) 과 목 : 고분자 재료실험 교 수 명 : 조 교 : 실 험 일 : 제 출 일 : 조(&조원): 학 번 : 성 명 : 1.실험제목 ?
실험제목 : ITO patterning 공정 2. 실험목적 : ?OLED 소자의 투명전극으로 사용되는 ITO를 원하는 모양으로 식각하는 법을 습득한다. ? ... 따라서 ITO patterning전 전처리 공정을 통하여 표면을 개질시켜 주어야 한다. ... 필요로 하는 미세 pattern의 투명전극으로서는 사용될 수 없다. ① ITO 투명 도전막의 요구 성능 * Pattern 형성에서의 Etching 잔유물이 없을 것. * 미세한 Pattern
테스터로 다음의 세 가지 검사를 해야 한다. . pattern된 ITO면 소리가 난다 가. ITO면과 ITO가 씻겨 나간 면 소리가 안 난다 나. ... Check PR striping까지의 공정이 끝나고 나면 glass에는 pattern된 ITO만 남게 된다. ... *실험토의 이번 실험은 OLED를 제작하는 공정 중 ITO의 Patterning 공정을 체험하는 것으로 패턴의 입히는 과정과 그에 필요한 기구들을 알아보았다.
ITO가 etching되고 나면 patterning된 ITO위에 남아있는 PR을 제거해 주어야 한다. ... ITO Patterning / 2014년 11월 21일 2. 실험조 및 실험자 : 3. 실험목적 : ? ... OLED/PLED/OTFT/OPV device의 투명전극으로 사용되는 ITO를 원하는 pattern으로 식각하는 법을 습득한다. ?
이를 바탕으로 직접 ITO를 이용하여 Pattern을 제작해보고 평가해본다. 2. ... Photolithography를 이용한 ITO Pattern 제작 1. 실험목적 Photolithography의 원리 및 공정과정에 대해 이해한다. ... 실험결과 ① mask pattern과 Lithography공정 후의 금속 pattern 비교 mask pattern(왼쪽)과 Lithography공정 후의 금속 pattern(오른쪽
정확한 pattern을 위해서는 고정밀의 mask가 필요하다. ... 서론 ITO Glass는 투명 기판에 Indium, Tin, Oxygen의 혼합물인 ITO를 코팅하여 만든 전도성을 가진 기판이다. ... Patterning 3.3.1 Photoresist photoresist는 빛에 노출되면 용액에 녹거나 녹지 않게 성질이 바뀌는 물질을 의미한다. positive-photoresist과
실험 결과 및 고찰 patterning까지 완료한 후 전류가 흐르는지 측정 하였다. ... 이번 실험에서 제작한 5개의 소자 중 3개의 소자에서 전류가 흐르는 것을 확인 할 수 있었는데, 이 차이는 cleaning에 의한 것은 아닌 것으로 예상한다. 3개의 소자에서 patterning과 ... ITO scribing & cleaning 일자: 2021. ITO Scribing & cleaning 1.
결정성 물질 원자와 나란한 방향, 즉 결정구조는 물질 에 따라 상이하여 회절 형식(pattern)은 물질에 고유한 값으로 된다. ... 입사 X선의 각도를 연속적으 로 변화시키면서 회절 X선의 강도를 기록하면 강도가 다른 복수의 회절 peak로부터 형식(pattern)을 얻을 수 있다. ... 이러한 결과는 비결정질인 유리의 표면에 금속이 증착할 때, 매우 불규칙하게 붙어서임을 알 수 있다. 2)ITO(Indium Tin Oxide) ITO의 경우 크롬과 달리 여러 원소가
. ◆ 실험방법 1.ITO전극을 Patterning한다. 2.sonication을 사용하여 glass 기판을 cleaning한다 3.UVO exposure을 사용하여 uv 를 조사 ... 이때 높은 rpm으로 스핀하게 되므로 가운데에 맞추어 흡착이 되어야한다. 6. glass 기판에 PEDOT:PSS 물질을 스포이드를 사용하여 기판의 중심부터 patterning된곳 ... 정공주입재료는 ITO 등의 양극으로부터의 정공주입이 원활히 이루어져야 하고반복적인 구동에도 ITO와의 계면 접착성이 우수해야 할뿐 아니라 가시광의 흡수가 적어야 한다.
ITO전극을 Patterning한다. 2.sonication을 사용하여 glass 기판을 cleaning한다 3.UVO exposure을 사용하여 uv 를 조사 4.Globe Box를 ... UVO treatment를 하는 이유는 ITO가 일함수가 0에 위치하는데 Hole이 이동하려면 사이에 Band Gap차가 적을수록 hole이 주입하기 쉽다 ITO를 UVO treatment를 ... 이때 높은 rpm으로 스핀하게 되므로 가운데에 맞추어 흡착이 되어야한다. 6. glass 기판에 PEDOT:PSS 물질을 스포이드를 사용하여 기판의 중심부터 patterning된곳
유기EL의 Pattern 형성을 위한된 절연층과 음극분리 격벽을 부분적으로나마 용해시킬 가능성 때문에 적용하기 곤란하다. ... 원 리 Pattern 공정을 하기 위해서는 주변의 청정도가 매우 중요한데, 아래 그림에서 보는 것과 같이 Clean room 에서 빛에 노출되지 않는 환경을 구비한 후 공정을 시작하여야 ... 기구 및 시약 ITO glass ITO glass는 투명 기판(glass)에 ITO 박막을 sputtering 기법으로 코팅한 것을 의미한다.
(파장이 187 nm인 빛을 20분 동안 조사한다.) ④ Spin Coater에 ITO가 Patterning된 기판을 올려준다. ... 실험 방법 ① ITO전극을 Patterning한다. ② 기판을 Sonication을 사용해 Cleaning을 한다. ③ UVO Exposure을 사용해 기판에 UV를 조사한다. ... ITO의 Work Function을 낮춰주기 위해 UV 처리를 한다. UV를 조사하면 일함수가 낮아지게 된다. 그로 인해 ITO전극으로부터 hole을 주입하기 용이해진다.
전극 증착용 metal mask patterning이 끝난 ITO 기판은 그 다음 고분자 박막이 형성된 후 전극막이 형성된다. ... 전기전도도가 좋은 물질을 사용해야 하기 때문에 얇은 박막, patterning 가능 등 여러 기능을 가지고 있는 ITO glass를 이용한다. ... 실험방법 1) ITO
실험이론 Pattern 공정을 하기 위해서는 주변의 청정도가 매우 중요한데, 아래 그림에서 보는 것과 같이 Clean room 에서 빛에 노출되지 않는 환경을 구비한 후 공정을 시작하여야 ... 장치 및 시약 ◎ITO Glass ITO Glass는 투명 기판(Glass) 위에 ITO(Indium Tin Oxide의 약자이며, 투명하면서 전기가 통하는 물질) 박막을 sputtering ... 실험제목 : ITO Scribing & Cleaning 2. 실험조 & 실험자 : 3. 실험목적 ?
단차측정기(Alpha-step) Lithography Pattern과 같이 미세한 물질간의 단차를 Tip으로 긁어서 읽어내는 장비이다. ... 증착하여 Drain과 ITO를 연결해준다. ... 이 ITO는 픽셀의 크기만큼의 LC 분자에 CLC를 걸어주어 액정이 전압에 따라 구동할 수 있게 해준다. Doping 방법의 분류 1.
ITO의 Work Function을 낮춰주기 위해 UV 처리를 한다. (a) UVO로 표면처리를 하지 않았을 때, 화학결합이 많다. ... rpm으로 스핀하기 때문에 샘플을 정중앙에 위치시키고 그 후 날라 갈 수 있기에 진공으로 흡착시켜준다. Ⅱ.Glass 기판에 filtering한 용액을 스포이드로 기판의 중심부터 patterning된 ... 이론적 배경에 해당하는 UVO 표면처리에 대한 개념을 work function, contact angle을 사용하여 설명해주었고, 다양한 에너지(187nm, 254nm)의 ITO에
