Plasma (RF Sputtering) / Working pressure / Oxygen partial pressure / XRD / SEM / AFM / TEM

소개글

Plasma (RF Sputtering) / Working pressure / Oxygen partial pressure / XRD / SEM / AFM / TEM

목차

1. Plasma (RF Sputtering)
2. Working pressure
3. Oxygen partial pressure
4. XRD
5. SEM

본문내용

1. Plasma (RF Sputtering)
A. Basic concept
- 플라즈마는 이온화된 기체를 지칭하며, 기체가 수만도 이상의 고온이 되면서 만들어지기 시작하고, 보통의 기체와는 매우 다른 독특한 성질을 갖기 때문에 물질의 제 4의 상태라 하기도 한다. 지구상에서는 물질의 대부분이 고체, 액체, 기체의 상태로 존재하고 자연적으로 존재하는 플라즈마는 매우 드물며, 전기아크, 번개, 네온사인 등이 주위에서 볼 수 있는 플라즈마이나, 지표를 떠나 우주 공간으로 나가면서 만나게 되는 전리층, 태양에서 불어오는 태양풍, 태양 그 자체, 우주 공간에 존재하는 성간물질 및 밤하늘에 반짝이는 별과 성운 들이 모두 플라즈마 상태에 있으며, Big Bang 이론에 의하면 우주의 탄생이 온도 1032도, 밀도 10100 g/cm3의 초고온, 고밀도의 플라즈마 달걀로 부터 대폭발을 함으로서 이루어져 지금도 전우주의 거의 대부분의 물질이 플라즈마 상태에 있다.

B. Gas for plasma generation
ㆍ플라즈마의 생성
- 물질 중에서 가장 낮은 에너지 상태인 고체에 열을 가하여 온도가 올라가면 액체가 되고 다시 열에너지가 가해지면 기체로 전이를 일으킨다. 계속해서 기체가 더 큰 에너지를 받으면 상태전이와는 다른 이온화된 입자들이 만들어 지게 되며 이때 양이온과 음이온의 총 전하수는 거의 같아진다. 이러한 상태가 전기적으로 중성을 띄는 플라즈마 상태이다.
ㆍ주변의 플라즈마 상태
- 이 상태는 지구상에서는 흔하지 않은 현상이지만 우주에서는 거의 모든 물질의 정상상태가 플라즈마상태이며 태양의 대기 또한 플라즈마로 채워져 있다. 우리 주변에서 관찰할 수 있는 플라즈마 상태로는 조명등으로 사용하고 있는 형광등과 길거리에서 흔하게 볼 수 있는 네온사인 그리고 자연현상으로는 소나기가 쏟아지면서 자주 발생하는 번갯불과 같은 것들이 있으며 북극지방 밤하늘에 발생하는 오로라(AURORA)도 플라즈마가 나타내는 빛이라고 볼 수 있다.

참고 자료

1) http://www.sciencedirect.com/
2) http://www.ndsl.or.kr/
3) http://www2.inha.ac.kr
4) www.microid.co.kr
5) www.cheric.org