재료공학기초실험(1)_면저항실험_반데르발스_4point probe

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목차

1. 실험목적
2. 면저항의 정의
3. Van der pauw's method
4. 4 point probe
5. 보정표 사용이유
6. 4 point probe에서 바깥쪽에 전류를 걸고, 안쪽에 전압을 측정하는 이유
7. 실험결과
8. 고찰

본문내용

1. 실험목적 : 4 point prove method를 써서 전압을 측정하고 이를 통해 면저항을 구한다. 이를 실험값과 비교해 본다. 또한 어떤 분야에 적용이 가능한지 알아본다.

2. 면저항의 정의
얇은 박막의 저항을 측정하는 것이다. (박막: 두께가 1마이크로 내외)

<중 략>

위의 경우와는 달리 pattoning 하기 힘든 경우에 사용되는 면저항 측정방법이다.
원리 : 두께가 t인 박막에 4개의 탐침(prove)를 등간격으로 배열한다.
바깥쪽 두 개의 탐침(1번과 4번)에 일정한 전류 I를 흘려준다. (일정한 전류를 흘려보내기 위한 전류계 연결) 그리고 안쪽탐침(2번과 3번)에서 전압을 측정한다.(측정을 위한 전압계 연결)
위의 식을 통해 Rs값을 구한다.
사용분야: 디스플레이 및 반도체 공정은 금속박막을 반도체 기판 또는 유리기판 위에 형성시키는 과정으로 박막의 면저항을 측정하여 박막의 균일성 및 전기적 특성을 모니터링 할 수 있다.

참고 자료

조선대학교 나노기술연구센터(http://ntrc.chosun.ac.kr)
scielo(http://www.scielo.br)
springerimages (http://www.springerimages.com)