[반도체공정및응용] HW4 _ Diffusion System, SIMS, Gettering

소개글

반도체 공정 및 응용 과목의 5번째 조사에 관한 HW입니다. Diffusion System, SIMS, Gettering 장비 회사에 대한 조사문제 였습니다. 문제 풀이는 솔루션을 찾아보면 나오기도 하고 수기 작성이 원칙이라 비어있습니다.

목차

1. Diffusion system (equipment)
2. SIMS
3. Gettering

본문내용

◎ Tokyo Electron Ltd. (TEL)
22년 6월 미래에셋 레포트에 따르면 전세계 Diffusion 장비 시장의 51%를 점유하며 과반을 차지하는 기업이다. 본사는 도쿄 미나토구에 위치하고 있으며, 한국에는 Tokyo Electron Korea Ltd. 라는 이름의 계열사로 본부는 화성시 삼성로에 있고 외에도 천안, 청주, 이천, 파주, 평택, 동탄 등에 오피스가 있으며 화성시 장안공단에 공장이 있다. 좌측은 TELINDY PLUS™라는 장비로 300mm의 웨이퍼에 사용 가능하며 1100도의 온도까지 공정에 사용할 수 있다. 이전 세대의 oxidation 이나 annealing 공정부터 high-k dielectrics나 radical oxidation 까지 가능하다.

◎ Hitachi Kokusai Electric Inc. 혹은 KSEC
TEL에 이어 34%로 점유율 2위를 차지하고 있는 기업이다.

참고 자료

없음