반도체공정설계(MOS capacitor, TFT) 제작 과정 및 특성 분석 PDF

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최초 등록일: 2021.04.19
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VG=0V
ideal 경우 Fermi Level이 같으므로 평형을 이룬다.

1. MOS capacitor 동작원리 Non-ideal Case
실제물질들은 서로 다른 Work function을 가지고 있다.
Work function이 낮은 물질에서 높은 물질로 전자가 이동함으로써 두 Fermi Level이 같아진다.
Energy Level의 연속성을 유지하면서 Work function 차이 만큼 Bending이 일어난다.

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