microlens array 레포트

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목차

1. Microlens Array를 만드는 공정을 자세히 설명하시오.

2. MLA master와 imprinting 결과물은 Surface profiler를 통해 형상정보를 측정했습니다.
1) Surface Profiler 측정 외에 제작된 MLA 결과물을 평가하는데 형상 정보 외에 어떤 값을 측정해야 할지 설명해보세요.
2) 위에서 생각한 필요값을 어떤 방식으로 측정할 수 있을지 조사해 보세요.

본문내용

1. Microlens Array를 만드는 공정을 자세히 설명하시오.
( + 실험 했을 때의 내용도 첨가하겠음)

* 우선, 실험실의 내부 압력 상태가 밖에 비해 높았다. 그 이유는 압력이 높은 곳에서 낮은 곳으로 이동한다는 성질을 이용해 먼지나 이물질 등이 밖으로 빠져나가게 하며 밖의 공기가 내부로 들어오지 못하게 하기 위해서였다.

➀ Cleaning

반도체 공정에서 제일 오류가 많이 나는 (70~80%) 과정이라고 할 수 있다.
Wafer (d=4inch) 위의 유기/무기질 불순물을 제거하는 과정으로, 웬만한 먼지는 100μm보다 크다. Acetone → Ethanol → DI water 순으로 Wafer를 씻는다.
클리닝에서 순서를 이렇게 하는 이유는 아세톤으로 먼저 미네랄을 지우고 그 후, 에탄올이 아세톤을 녹이는 성질을 가지고 있어 에탄올을 사용한다. 마지막으로, 에탄올이 물에 녹기 때문에 그 후에 di water를 이용한다.

➁ PR coating

Wafer 위에 감광막을 균일하게 생성시키는 과정이다. 점도, 회전속도, 온도를 이용하여 PR coating의 두께를 조절한다. (5μm)
PR은 유기용액, 소수성이기 때문에 HMDS를 먼저 뿌려 PR이 잘 도포가 될 수 있도록 해준다. 실험을 하는 과정에서는 스포이드로 PR을 올렸는데 이 과정에서 최대한 기포가 생기지 않도록 만들어 주어야 한다.

참고 자료

없음