AZO, 면저항, FPP, 홀 메저먼트에 대한 조사

목차

1. AZO
1) AZO의 정의
2) AZO의 용도

2. 면저항

3. FPP(4point probe)

4. 홀효과

5. 홀 메저먼트(Hall Measurement)

본문내용

1.1AZO의 정의
AZO란 ZnO:Al(doped) 박막으로 투명 전도성 산화물(transparent conducting oxide, TCO)로 사용되며 전극을 형성하는 박막은 높은 광투과율과 ~〖10〗^(-4) Ω∙cm 정도의 낮은 전기비저항을 가져야 한다. 한편 400°C 정도의 수소플라즈마 분위기에 장시간 노출시 열화, 스퍼터링 시 음이온충격에 의한 막손상으로 저항의 증가 등으로 인한 문제 해결의 대안으로 ZnO 산화물 반도체는 ITO박막에 비해 비저항이 높기 때문에 도핑을 이용한 비저항을~〖10〗^(-4) Ω∙cm정도로 낮추어야 한다. ZnO는 일반적으로 격자틈새 Zn 이온(〖Zn〗_i^(2+))이나 산소 빈자리이온 (V_O^(2+)) 등과 같은 자연적인 도너 이온이 존재하여 n-형 전도 특성을 나타낸다. 또한 억셉터 이온의 낮은 도핑 용해도, 결정 내에서 도핑된억셉터의 복합체 형성, 그리고 도핑된도펀트가 격자 틈새 자리에 위치함으로써 발생하는 전기적인 비활성화 때문에 p-형 전도특성을 갖는 ZnO박막의 형성은 어려운 문제로 알려져 있다. 투명전도막으로 체적 저항율은 다소 높으나 환원성 분위기에 대한 내성, 가시광 영역에서의 높은 광투과율과 저렴한 가격의 장점등으로 AZO박막이 주목 받게 됐다. 일반적으로 AZO투명전도막의 전기전도 메커니즘은 Zn침입형 원자 및 산소공공과 같은 격자결함에 의한 도너의 생성에 크게 의존하고 있고, 고저항체로서 높은 비저항을 갖는 벌크 상태의 ZnO는 박막화 과정에서 쿠과 O의 비율이 1:1을 벗어나 비화학양론적인 구조를 갖는다.

참고 자료

오데레사. (2012). AZO 투명전극의 결정성과 광학적 특성. Applied Science and Convergence Technology, 21(4), 212-218.
AZO를 이용한 터치패널용 투명전극 개발. 한국산업단지공단 산업통상자원부 아프로R&D 2011-09
대전방지제 기초이론-㈜ SY Chem. R&D Team
https://terms.naver.com/entry.nhn?docId=1154672&cid=40942&categoryId=32244두산백과-홀 효과
https://terms.naver.com/entry.nhn?docId=752922&cid=42341&categoryId=42341 전자용어사전-홀 효과
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