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디스플레이 액정 킥백볼티지 관련 레포트

mbforgotten
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최초 등록일
2018.05.30
최종 저작일
2018.03
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목차

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본문내용

킥백 볼티지 : 게이트/소스, 게이트/드레인 사이에 오버랩(미스얼라인 방지 디자인룰은 4마이크론)에 의해 기생캡 생성 -> 커패시턴스 커플링으로 기생캡으로 전하가 이동하여 화소 전압 감소
-> flicker 현상 발생 (픽셀 전압이 새어나감 기생 캡으로)
백 채널 에치 구조에서 a-si층이 얇을 경우 생기는 장점 : 공정시간 단축, 누설 전류 감소
문제점 : 수율 감소(n+ a-si 에칭할 때 a-si 까지 전부 에칭되어 채널 없어질 수 있음)

가장 일반적으로 사용되는 TFT 구조 : 언더 게이트 스태거드 (a-si는 n타입만 가능) SiNx 가 SiO2 보다 a-Si와 궁합 좋다. (셋은 pecvd로 동시 증착 가능)단점은 옴닉 컨택 때문에 시리즈 레지스턴스 발생. 장점 : 연속 증착시 맞길이 우수 ,게이트 전극이 빛을 막아줘서 광 누설전 류 감소.

참고 자료

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