[금속재료] SEM의 구성과 원리

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최초 등록일: 2002.10.07
최종 저작일: 2002.10; 4페이지/ 한컴오피스; 가격 1,000원

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1. SEM의 구성
물질이 전자 beam과 상호작용할 때 secondary electrons(<50eV), backscattered electrons, characteristic X-rays, auger electrons(50-2000eV)과 여러 에너지를 가진 photon들을 생성한다.

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