산화물 반도체의 결정입도가 가스감도와 표면특성에 미치는 영향

서지정보

ㆍ발행기관 : 한국재료학회 ㆍ수록지정보 : 한국재료학회지 / 3권 / 4호
ㆍ저자명 : 송국현, 박순자

한국어 초록

Hydroxide법으로 α-주산산(stannic acid)을 만든후, 하고온도를 500˚C~1100˚C로 조정하여 일차입자(Crystallite)크기가 8-54nm인 SnO2 분말을 제작하였다. 분말의 입자(drystalite)클기에 따른 분말특성와 H2, CO가스(0.5v/o)에 대한 감응성 미치공기중에서의 저상변화특성에 미치는 영향을 조사하였다. 입자크기가 감소함에 따라, 분말의 FTIR 흡습특성은 증가하였으나, 격자상수는 일정하였다. 후막소자에서, H2가스에 대해 최대감도를 나타내는 온도와 공기중에서 최소저항을 나타내는 온도는 입자크기가 미세해짐에 따라 점차 낮아졌다. 최소저항점과 최대감도점의 온도저하를 산소흡착종의 활성화에너지의 감소라고 유추하였고, 이러한 에너지의 감소가 미세입자에 의한 감도향상요인 중의 한가지라고 제의하였다.

참고 자료

없음