반도체 장비 업체 경력 기술서

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최초 등록일: 2021.11.17
최종 저작일: 2021.05; 2페이지/ MS 워드; 가격 5,000원

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"반도체 장비 업체 경력 기술서"관련 내용입니다.

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프로젝트명: 장비이름 Installation in KIOXIA Y5 기간: 2020/11/09~2020/12/28
주요 작업 내용:
- 고객의 Special Request에 맞추어 Setup을 진행하였습니다.
1) EFEM Transfer Robot Arm이 Wafer를 Get 할때 정중앙에서 Wafer를 이동시킬 수 있도록 하였습니다.
2) Ar 공급 라인에 Manual Valve를 설치하였습니다.
- 모듈이 정상 작동이 안되어 해결 후 설치를 진행하였습니다.
1) HV PS에 전압을 인가하였지만 전압이 걸리지 않았습니다. 케이블 설치와 PS 정상작동 여부를 확인하였고 Interlcok 케이블이 연결되어 있지 않음을 확인하여 해결하였습니다.
2) Wafer를 회전시키는 모듈이 동작하지 않아 빠진 케이블을 찾아 설치하였습니다.

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