진공 공학 RGA(Residual Gas Analyzer) 발표 ppt + 대본[A+자료]

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[A+자료] : a+을 받은 자료입니다.
RGA(Residual Gas Analyzer)에 대한 설명이 자세히 나와있습니다. 작동 원리 등이 전문용어를 포함해 청중들이 잘 알아들을 수 있도록 쉽고 상세히 기록되어 있습니다. 대본과 ppt를 같이 드리니 대본 짜기에도 수월하실 것입니다.

목차

1. Concept of RGA
2. Constitution of RGA
3. What is Ion source?
4. Application of RGA
5. Reference

본문내용

Concept of RGA
RGA
- Residual Gas Analyzer
- A mass spectrometer measuring residual exhaust gas

<중 략>

What is Ion source?
Ion source
RGA uses two kinds of electron impact ion source

electron impact ion source
- Ionized when thermoelectron conflicts against neutral molecule or atom
1.OIS(Open ion source)
2. CIS(Closed ion source)

What is Ion source? - OIS
OIS Ion source
- Having same pressure with the whole vacuum vessel
- Maximum work pressure is 10^-4

참고 자료

Vacuum technologe, a.roth, north-holland
진공의 기초(Basic vacuum practice)개정판, 김홍배 손상희 공역,㈜전자자료사
기초 진공공학, 김현후 황용운 박대희 임기조 공저, 내하출판사
위키백과 www.wikipedia.org
잔류가스분석기 (RGA)의 작동원리 박창준* 한국표준과학연구원 차세대계측기센터

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