발광박막의 제조 (Fabrication of Light Emitting Thin Films)

목차

1. 실험목적
2. 실험장치 및 방법
2-1. 실험장치 및 시약
2-2. 실험방법
2-2-1. 기판 세정
2-2-2. 진공증착법에 의한 박막증착
2-2-3. Spin coationg에 의한 박막증착
3. 결과 및 토의

본문내용

2-2. 실험방법
2-2-1. 기판 세정
① 준비된 glass를 2×2 cm2 크기로 자른 뒤, boat에 담는다.
② TCE, Acetone, Methanol, DI Water 순으로 각각 10분씩 초음파 세척을 한다.
③ 세척 후 N2 기체로 blow drying 한다.
④ 잔류 유기물과 수분을 제거하기 위해서 Convection Oven에서 10분간 건조시킨다.

2-2-2. 진공증착법에 의한 박막증착
① 세정된 기판 위에 shadow mask를 씌우고, crucible에 유기물 시료(Alq3, 또는 TPD)를 정량(2.0mg)하여 넣는다.
② Thermal evaporator chamber 안에 ①에서 준비된 기판과 시료를 넣는다.
③ RP(rotary pump)와 DP(diffusion pump)을 사용하여 chamber 내의 진공도를 10-5∼10-6 torr로 유지시킨다.
④ 박막증착이 가능한 진공도에 도달하게 되면 power supply에 전원을 넣고, 전류를 가해 발생하는 저항열에 의해 시료(Alq3 또는 TPD)를 승화시켜 기판 위에 박막을 증착시킨다.

참고 자료

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