SEM 이미지의 생성 원리, charging현상과 해결 방법, OM과 SEM의 image의 차이점과 그 이유

소개글

1. SEM Image의 생성 원리


그림1. SEM의 구조 모식도

▶ SEM은 <그림1>과 같이 나누어진다. 전자빔을 발생시키고 조정하는 전자 광학 시스템과 빔에 의해서 특별한 정보 신호를 나타내는 시편 정보 수집기 및 탐지시스템, 그리고 그와 관계되는 증폭기, 화면시스템으로 구성된다. SEM은 TV화면과 비슷한 방법으로...

목차

1. SEM Image의 생성 원리

2. 관찰시 일어나는 Charging현상과 해결하기 위한 조치방법

3. OM과 SEM의 Image의 차이점과 그 이유

4. Reference

본문내용

1. SEM Image의 생성 원리
그림1. SEM의 구조 모식도
▶ SEM은 <그림1>과 같이 나누어진다. 전자빔을 발생시키고 조정하는 전자 광학 시스템과 빔에 의해서 특별한 정보 신호를 나타내는 시편 정보 수집기 및 탐지시스템, 그리고 그와 관계되는 증폭기, 화면시스템으로 구성된다. SEM은 TV화면과 비슷한 방법으로 미세하게 초점이 맞추어진 전자빔으로 시편을 scanning 하는 것으로서 전자빔과 시편이 충돌할 때 각 점에서 발생되는 신호를 detector로 감지하여 CRT에 반영하는 것이다. CRT의 명암 차이는 감지된 신호의 양에 의해서 시편의 영상을 나타내주며 주사발생장치(scan generator)는 현미경의 주사코일과 CRT를 조절하여 CRT면의 점이 1:1로 상응하게 한다. 이 때 CRT 표시면적은 통상 100mm×100mm로 정하므로 시편에 대해 10mm×10mm 면적을 scanning하면 배율은 100배로 되는 셈이며, 일반적으로 20~50,000배 정도가 가능하다.

참고 자료

- Fundamentals of Materials Science & Engineering (3rd Edition) - Wiliam D.
- 금속 재료 실험 (응용편), 김학윤 외 4명, 기전연구사, 2008
- 브리테니커 대 백과사전