집적회로설계 기말 자료

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목차

1. 다음은 반도체 공정 중의 중요한 단계 중 하나이다. 이에 대해 기술하시오.
2. pMOSFET의 동작원리를 그림을 활용하여 기술하시오. (20)
3. 다음의 Layout으로부터 회로도를 추출하시오
4. 다음은 유기 트랜지스터(Organic Transistor)를 활용한 응용분야이다. 이중 응용분야 1개를 선택하여 상세하게 기술하시오

본문내용

1. 다음은 반도체 공정 중의 중요한 단계 중 하나이다. 이에 대해 기술하시오. (20)

IC 제작을 하기 위해서 먼저, 웨이퍼 한묶음(batch)을 보트 위에 올리고 실리콘 결정을 성장 시킨다. 그리고 웨이퍼를 만든다. 용광로를 이용하여 옥사이드를 형성시킨다.
웨이퍼 위에 액체 포토레지스트를 뿌린 후 스핀하여 도포한다. 웨이퍼들은 100도씨에서 구운다. 왜냐하면 솔벤트들을 제거하고 레지스트를 강화시키기 위해서이다. 그 다음 마스크를 이용하여 자외선에 부분적으로 노출시켜 준다.
노출된 저항부분이 리무브 과정을 통해 제거 되어진다. 그 다음 노출된 옥사이드를 에칭을 통하여 제거한다. 그 다음 도판트 이온들이 노출된 실리콘 영역에 주입합니다. 그런 다음 레지스트 부분과 옥사이드 부분을 차례로 제거하면 완성된다.
2. pMOSFET의 동작원리를 그림을 활용하여 기술하시오. (20)


(1)pMOSFET의 구조



(2)pMOSFET의 기호

p채널 증가형의 기호 p채널 공핍형의 기호

p-MOSFET는 N형 Wafer(substrate)에 도우너 원자를 다량 도핑시켜 P+ 형 반도체를 두개 형성시키는 것으로부터 시작된다. 그 후 P+의 영역에 금속을 붙여 Source와 Drain의 단자를 만든다. 그리고 Source와 Drain 사이에 절연체(SiO2)를 붙이고 그 위에 금속판을 얹어서 Gate 단자를 만든다. 이렇게 하면 기본적인 MOSFET가 구성된 것이며, 밑에 Bulk 단자는 N형 반도체(Substrate)의 기본 전위, 즉 기준점을 잡아주기 위한 단자이다.

참고 자료

없음