결론spinless coater의 coating 균일성을 높이기위해 세가지 변수 slit height, 압력, 기판이동속도를 조절하여 실험을 하였다.결론은 정리하면 다음과 같다.1) ... Spinless coating의 균일성 향상을 위한 연구The study of improving the uniformity by using Spinless coater (Arial ... 조건하에 Spinless Coater장비를 이용하여 Ceramic Wafer위에 PR coating을 시킨후 bake를 진행하게 된다.
