[재료공학] SEM(Scanning Electrion Microscope)

소개글

주사전자현미경의 원리 및 특징, 구성에 대한 보고서입니다.

목차

I. SEM의 원리 및 특징
II. SEM의 구성
1. 전자 광학계
1-1. 전자총
1-2. 전자광학계
1-3. 주사계•비점 보정계
2. 시료실
3. 배기계
4. 전자회로계

본문내용

SEM이란 10-3 Pa 이사의 진공 중에 놓여진 시료표면을 1~100nm정도의 미세한 전자선으로 x-y 의 이차원방향으로 주사하여 시료표면에서 발생하는 2차전자, 반사전자, 투과전자, 가시광, 적외선, x선, 내부기전력 등의 신호를 검출하여 음극선관(브라운관)화면상에 확대화상을 표시하거나 기록하여 시료의 형태, 미세구조의 관찰이나 구성원소의 분포, 정성, 정량등을 분석하는 장치이다. 주로 금속등의 도체, IC, 산화물 등의 반도체, 고분자재료나 세라믹 등의 절연물의 고체, 분말, 박막시료가 표본이 된다. 주로 2차전자가 시료의 형태관찰, 반사전자나 x선이 성분분석에 사용된다.
전자선은 전자총부의 원통내의 음극(filament)를 가열하여 발생한 전자가 양극으로 가속되어진다. 통상 0.5~30kV로 가속되어진 전자선은 집속렌즈와 대물렌즈의 작용으로 최종적으로 3~100nm의 직경까지 미세해지며 시료표면에 조사된다. 이렇게 미세해진 전자선을 전자프로브라고 부른다. 전자프로브는 주사코일에 의해 전자표면상의 x와 y의 2차원방향으로 새롭게 설정된 면적을 주사시킨다. 전자프로브의 주사와 동기된 브라운관 화면상에 시료로부터 발생한 신호를 각각의 신호로 변환시킨 검출기에서 검출, 증폭하여 영상으로 보여준다. 브라운관화상은 전자프로브의 주사면적을 작게 할수록 확대 되어진다. 이 화상을 사진으로 촬영하거나 비디오 printer로 기억하게 된다. 전자프로브를 주사하지않고 시료상의 한 점에 고정하여 얻어지는 x선을 사용하여 조사점의 원소분석이 가능하다.

참고 자료

없음