금속 산화물 및 질화물 합성 (예비)
- 최초 등록일
- 2012.04.04
- 최종 저작일
- 2011.10
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소개글
금속 산화물 및 질화물 합성 레포트 입니다. 레포트 쓰는 거 뿐만 아니라 실험 시험치시기 전에 잠깐 보셔도 도움되실꺼에요 ~^^ 모두 A+ 받으세요 ! 화이팅 !~!!
목차
1.1. 목적
1.2. 이론
1.3. 실험장치 및 시약
1.4. 실험방법
1.4.1. 전구물질의 합성
1.4.2. AlN 분말의 합성
1.4.3. AlN 분말의 확인
1.4.4. 반응메카니즘의 추정
본문내용
1.1. 목적
알루미늄 착물을 이용하여 질화알루미늄(AlN)분말을 합성하고, AlN이 생성되는 반응과정, 즉 반응메카니즘을 추정해 본다.
1.2. 이론
최근 반도체 소자의 소형화와 고집적화에 따라 회로 단위면적당 방출하는 열의 증가로 칩의 온도가 상승하여 회로의 신뢰도 및 수명이 떨어지는 문제점이 생기게 되었다. 따라서 회로에서 방출되는 열을 효율적으로 방출시켜 회로를 보호하기 위해 높은 열전도도를 갖는 기판 및 패키지를 사용해야 할 필요가 대두되었다. 질화알루미늄(AlN)은 높은 열전도성, 높은 전기절연성, 낮은 유전상수 및 유전손실, 실리콘과 비슷한 열팽창계수 등과 같은 특성을 가지고 있어 반도체의 기판재료나 반도체 레이저용 방열재 등과 같은 전자재료로서의 수요증대가 크게 기대되고 있다.
참고 자료
없음