유기물을 이용한 MICRO-SCALE PATTERN 제작실험
- 최초 등록일
- 2010.06.20
- 최종 저작일
- 2009.03
- 2페이지/
압축파일
- 가격 1,500원
소개글
실험관련 자료+사진+결과데이터 입니다.
목차
<b>6조 발표자료.ppt</b>
PURPOSE
THEORY
APPARATUS
CHEMICALS
PROCEDURE
CAUTIONS
REFERENCES
<b>2번답2.hwp
2번답.hwp
사진 및 레퍼런스.docx
실험사진.hwp</b>
본문내용
MICRO-CHANNEL 제작 실험을 실행함으로써
반도체, 디스플레이 및 MEMS (Micro Electronic
Mechanical System) Micro Scale Patterning
공정 기술의 (Photo Lithography, Spin Coating,
Plasma Treatment 등) 원리를 이해한다.
1) MEMS (Micro Electronic Mechanical System)
정의
- 기계와 전기 등 다방면의 기술이 관련된 Micro Feature Size를
갖는 시스템을 다루는 학문.
- 초소형 시스템이나 초소형 기계를 의미.
- 각종 Sensor, 뇌나 신경에 해당하는 논리 회로, 팔과 다리에
대응하는 Micro Mechanism , 그것을 움직이게 하는
Micro Actuator를 하나로 하는 시스템을 일컬음.
참고 자료
윤준보/ 2004/ 알기 쉽고 재미있는 MEMS 이야기/
브레인 코리아 출판/ P. 208-214
TAI-RAN HSU/ 2008/ MEMS AND MICROSYSTEMS;
Design, Manufacture, and Nanoscale Engineering 2nd Ed./
JOHN WILEY & SONS, INC./ P. 359-360
Wanjun Wang, Steven A, Soper/ 2007/ Bio-MEMS;
Technologies and Applications/ CRC Press/ P. 12-40
http://blog.naver.com/gpsptm05?Redirect=Log&logNo=110005720516
http://www.memsnet.org/mems/what-is.html
http://www.biochip.or.kr/website/index.php
http://popsci.hankooki.com/main.php
http://www.ece.gatech.edu/research/labs/vc/theory/photolith.html
압축파일 내 파일목록
실험 6 - Micro Patterning/
실험 6 - Micro Patterning/2번답.hwp
실험 6 - Micro Patterning/2번답2.hwp
실험 6 - Micro Patterning/6조 발표자료.ppt
실험 6 - Micro Patterning/사진 및 레퍼런스.docx
실험 6 - Micro Patterning/실험사진.hwp
