반도체 AMC 모니터링 시스템용 솔레노이드 밸브 신뢰성 테스트에 관한 연구
(주)코리아스칼라
- 최초 등록일
- 2023.11.20
- 최종 저작일
- 2023.10
- 6페이지/ 어도비 PDF
- 가격 4,000원
* 본 문서는 배포용으로 복사 및 편집이 불가합니다.
서지정보
ㆍ발행기관 : 한국기계기술학회
ㆍ수록지정보 : 한국기계기술학회지 / 25권 / 5호
ㆍ저자명 : 권혁상
영어 초록
In the semiconductor manufacturing clean room, contamination that directly affects process yield is managed through the operation of a monitoring system that measures molecular contamination in the air. In this study, I presented the component inspection method, test conditions, and judgment criteria through the life test of the solenoid valve that will be applied to the sampling module of the AMC Monitoring System.
참고 자료
없음
"한국기계기술학회지"의 다른 논문
더보기 (5/10)