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다양한 리소그래피법을 이용한 나노구조 형성
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Lithography기술이란?
-접속회로제작시 실리콘칩 표면에 패턴을 제작하는 기술
-짧은 파장의 빛을 사용하여 정밀도 높이는 것이 핵심.
전자빔 리소그래피
(EBL: Electron Beam Lithog..
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공학/기술|
2013.06.17|
12페이지| 1,500원|
조회(131)
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