그러나 다른 고진공용 펌프와 마찬가지로 반드시 보조펌프를 써야만 한다. { (4)크라이오 펌프 120K이하의 극저온 상태에서 기체를 응결 시키거나 응결체 안에 가두어 둠으로써 진공 ... 진공을 만들기 위해 다양한 종류의 펌프가 이용되고 있으며 2~3개의 펌프를 조합하여 상용하는 것이 일반적이다. ... 각각의 펌프는 펌핑을 시작할 수 있는 하한진공도와 펌핑으로 얻을 수 있는 상한진공도가 있으며, 이 사이의 영역이 펌프동작영역이다.
기계적으로 운동하는 부분도 없고 구조도 간단하다. ◈ 고진공 이상의 펌프 섭션펌프, 오일확산 펌프, 스퍼터 이온 펌프, 게터 펌프, 터보 분자 펌프, 크라이오 펌프등이 있다. ☞ Mechanical ... Pump 초기의 진공펌프는 증기기관을 역으로 하는 모양과 유사하였다. ... 그래서 펌프의 동작이 나타난다. ion pump는 진공 핵가속기, X-선관 및 다른 기구들에 사용된다.
