/ B A=계속적인 gas 주입을 한 후 사용시간(hour) B=Gas 주입량 (sccm) C=Pump의 Pumping Capacity(L) 이 valve는 Pump내부의 압력이 7 ... 선정 방법 Cryo Pump = 기체 흡장형 진공 펌프 진공용기의 크기와 어떠한 공정을 하는가에 따라 요구되는 기저압력, 운전압력, 배기속도, 배기용량, 사용되는 기체의 종류 등 ... 근원 압력은 기체분자들에 의해 단위면 적당 벽 또는 물체의 표면에 가해 지는 힘이고, 근사적으로 단위부피 당 에너지임 * 여러 가지 압력단위의 환산 * 진공의 이용 분야 * 진공 펌프의
흡수 작용은 흡착(adsorption), 흡수(absorption), 화학적 흡수(chemisorption), 극 저온흡착(cryosortion) 등을 이용하거나 이들을 복합적으로 ... 요 약 - 극저온 펌프는 진공 펌프의 일종으로 극저온을 이용한 고진공 펌프이다. ... 반응으로 빼앗은 열은 냉장고 밖에서 발열시켜 냉장고 내 부의 온도를 낮게0k(-263℃)까지 떨어뜨림 b) Expander가 작동온도까지 떨어질수 있도록 진공 sealing을 해줌 c)