Electrical Chemical Low K. ... No anisotropy Low dissipation Low leakage current Low charge trapping High electric-field strength High ... 유전상수를 구하는 방법 유전상수를 구하는 가장 간단한 방법은 캐패시터 즉 축전기를 이용하는 방법이다.
Property - Lowdielectric loss Desired microstructure - Small, uniform grains 유전손실을 유발하는 원인으로서는 물질의 불균일 ... K. Bowen / D. R. Uhlmann) ... 즉 강도 σ는 균열크기 c의 1/2승에 비례해서 낮아지게 된다.
Non-Flammable, 비독성 이고 Oxide Etch 또는 CVD 공정에 주로 사용 됨. 반도체 외에 냉동기 냉매, 공 ... HELICON WAVE의 위상속도는 주파수및 안테나 길이로 조절 가능 하므로 WAVE에 의해 가속 되는 전자에너지를 조절 가능함 LANDAU DAMPING MECHANISM ω/k ... 조절가능 ● 구조간단, 대구경화,CLUSTER화 ● 높은 전자온도, FILM DAMAGE ● POLYMER 재분해/재축적, 이물 ∼ TCP COIL DIELECTRIC PLATE BOTTOM
